��ܰ������ʡн 2024��(g��)��ُ(g��u)����(b��o)�� 2024�ЈD�W(w��ng)��Ȉ�(b��o)��
�gӭ���R�ЈD�W(w��ng) Ո(q��ng) | ע��(c��)
> >>
&�댧(d��o)�w���������c���g(sh��)

&�댧(d��o)�w���������c���g(sh��)

���ߣ���s
�����磺�ƌW(xu��)����������r(sh��)�g��2021-10-07
�_���� 16�_ �(y��)��(sh��)�� 294
�� �D �r(ji��):¥77.4(7.9��) ���r(ji��)  ¥98.0 ��䛺�ɿ�����(hu��)�T�r(ji��)
����ُ(g��u)��܇ �ղ�
�\(y��n)�M(f��i)6Ԫ���M39Ԫ���\(y��n)�M(f��i)
?�½������س���
������Ǖ�����>

&�댧(d��o)�w���������c���g(sh��) ���(qu��n)��Ϣ

&�댧(d��o)�w���������c���g(sh��) ��(n��i)�ݺ�(ji��n)��

�댧(d��o)�w�����Ƕ���(j��)�W(xu��)�ơ�΢����c���w��ӌW(xu��)����һ��(g��)��֧�W(xu��)�������댧(d��o)�w���������c���g(sh��)�����@һ��֧�W(xu��)�ƵČ��I(y��)֪�R(sh��)���֞�댧(d��o)�w���ϸ������������������w���L(zh��ng)����̎�������ܜy(c��)���͹�ˇ���A(ch��)���g(sh��)6��(g��)�M�ɲ�����ͨ�^(gu��)�ѷ�ɢ�ڱ���̿ƕ����������īI(xi��n)�Y���еČ��I(y��)֪�R(sh��)ϵ�y(t��ng)�ؼ{���@һ�W(xu��)���wϵ�����ʹ֮�ɞ�һ��ȫ���B�댧(d��o)�w��������֪�R(sh��)����ˇ����ԭ���͌�(sh��)�û����g(sh��)�Č��I(y��)����������ƪ�������������댧(d��o)�w���������c���g(sh��)����δ�����漰����W(xu��)����ԭ�����ƌ�(d��o)�����N���ϵ����܅���(sh��)�͸���Ƃ乤ˇ�ļ��g(sh��)��(x��)��(ji��)����Ҫ�r(sh��)�x�߿��\(y��n)�����������(l��i)�@ȡ���P(gu��n)�ă�(n��i)����

&�댧(d��o)�w���������c���g(sh��) Ŀ�

Ŀ�
ǰ��
��1�� ���� 1
1.1 �댧(d��o)�w���� 2
1.2 �댧(d��o)�w���������c���g(sh��) 4
1.2.1 �댧(d��o)�w���ϵ��������A(ch��) 4
1.2.2 �댧(d��o)�w���ϵ��������� 6
1.2.3 �댧(d��o)�w���ϵ��Ƃ似�g(sh��) 8
1.3 �댧(d��o)�w���ϵđ�(y��ng)�� 9
��2�� �댧(d��o)�w���ϵ��������� 17
2.1 ���w���ϵ�ԭ�ӽY(ji��)��(g��u) 18
2.2 ���ϵijɷօ���(sh��) 21
2.3 ���ϵĺ��^�Y(ji��)��(g��u)���� 21
2.4 ��������ӵ��܎��Y(ji��)��(g��u) 22
2.5 ȱ������ 33
2.5.1 �c(di��n)ȱ�� 33
2.5.2 ��ȱ�� 34
2.5.3 ��ȱ�� 36
2.5.4 ����ȱ�� 37
2.5.5 �wȱ�� 38
2.5.6 ����ȱ�� 38
2.6 �����c�������� 39
2.7 늌W(xu��)���� 41
2.7.1 ƽ��B(t��i)�²��ϵ�늌W(xu��)���� 42
2.7.2 ���(ch��ng)�����µIJ���늌W(xu��)���� 46
2.7.3 ��ƽ��B(t��i)�µIJ���늌W(xu��)���� 48
2.7.4 �d���ӵ���ײ��x���� 52
2.7.5 ������� 52
2.8 ��W(xu��)���� 52
2.8.1 ���ڲ����еĂ������� 53
2.8.2 ���ϵĹ��������� 53
2.8.3 ���ϵ�ݗ������ 55
2.8.4 ���ϱ���Ĺ�ɢ������ 56
2.9 �ŌW(xu��)���� 56
2.10 ���W(xu��)���� 57
2.11 �������ܵķǾ����� 58
2.12 ��W(xu��)�c�����W(xu��)���� 58
2.12.1 ��W(xu��)���� 58
2.12.2 ���D 59
2.12.3 ȱ�ݻ��W(xu��)��Փ�������P(gu��n)�IJ��ϟ����W(xu��)����(sh��) 64
2.12.4 ������ԭ�ӵĔU(ku��)ɢ���� 65
��3�� �댧(d��o)�w���ϵ����L(zh��ng) 71
3.1 ���w���L(zh��ng)�Ļ��A(ch��)��Փ 71
3.1.1 ���L(zh��ng)��ʽ�c�(q��)��(d��ng)�� 72
3.1.2 �ɺ���Փ 73
3.1.3 ���L(zh��ng)���ʺ����L(zh��ng)ģʽ 75
3.1.4 ƽ���ΑB(t��i)��Փ 78
3.1.5 ���L(zh��ng)�^(gu��)���еĂ�ݔ��Փ 79
3.2 �w�����ϵ����L(zh��ng)���g(sh��) 82
3.2.1 ���������� 83
3.2.2 �^(q��)�۷� 92
3.2.3 �п˄�˹���� 94
3.2.4 ���������ݔ�� 100
3.3 ���Ӳ��ϵ����L(zh��ng)���g(sh��) 102
3.3.1 Һ������ 104
3.3.2 ���������� 110
3.3.3 �����ЙC(j��)������e 123
3.3.4 ����һЩ�������Ӽ��g(sh��) 130
3.4 �;S�������L(zh��ng)���g(sh��)��(ji��n)�� 132
��4�� �댧(d��o)�w���ϵğ�̎�� 137
4.1 ��̎���Ļ���ԭ�� 137
4.1.1 ��ƽ���̎�� 137
4.1.2 ��ƽ���̎�� 141
4.1.3 ��̎���^(gu��)����ԭ���\(y��n)��(d��ng)�Ļ���Ҏ(gu��)�� 141
4.2 ��̎����ˇ�Č�(sh��)�F(xi��n)��ʽ 142
4.2.1 �]�ܟ�̎�� 142
4.2.2 �_�ܟ�̎�� 143
4.2.3 ���ٽ���?z��)�̎�?146
4.2.4 ���ٟ�̎�� 146
4.2.5 �ߵ͜�ѭ�h(hu��n)��̎�� 147
4.2.6 �߉���̎�� 147
4.2.7 ��Դ��̎�� 148
4.2.8 �x��Դ��̎�� 150
4.3 �댧(d��o)�w���ϟ�̎���Č�(sh��)�H��(y��ng)�� 151
4.3.1 �����c(di��n)ȱ�ݷN͝�ȵ��{(di��o)�� 151
4.3.2 ���s���s�|(zh��)���|(zh��)���{(di��o)�� 153
4.3.3 �s�|(zh��)��Ⱥ�λ�e(cu��)�ܶȵĽ��� 154
4.3.4 �wȱ�ݳߴ�ĜpС 154
4.3.5 ��������ϽM�ֲַ����{(di��o)�� 155
4.3.6 �댧(d��o)�w���Ͻ������Եĸ��� 156
4.3.7 ���ϵĸ��x�����x��ճ�� 156
4.4 ��̎����ˇ��ע�����(xi��ng) 156
��5�� �댧(d��o)�w�������܅���(sh��)�Ĝy(c��)�� 161
5.1 �׺νY(ji��)��(g��u)���ԵĜy(c��)�� 162
5.2 ��W(xu��)���ܵĜy(c��)�� 164
5.2.1 ͸����V�Ĝy(c��)�� 166
5.2.2 ������V�Ĝy(c��)�� 168
5.2.3 �E�Aƫ����V�Ĝy(c��)�� 169
5.2.4 ɢ����V�Ĝy(c��)�� 171
5.2.5 ��ɹ���V�Ĝy(c��)�� 172
5.2.6 ꎘO�ɹ���V�Ĝy(c��)�� 173
5.3 늌W(xu��)���ܵĜy(c��)�� 173
5.3.1 ����ʵĜy(c��)�� 174
5.3.2 �d�������ԵĜy(c��)�� 177
5.3.3 �����늉��y(c��)�����g(sh��) 184
5.3.4 ��늌�(d��o)˥�˷��y(c��)�����g(sh��) 185
5.3.5 ΢�����䷨�y(c��)�����g(sh��) 186
5.3.6 �����T��(d��o)��������T��(d��o)����Ĝy(c��)�� 188
5.3.7 ���ܼ�(j��)˲�B(t��i)�V�Ĝy(c��)�� 189
5.3.8 �Ƿֱ��������V�Ĝy(c��)�� 192
5.3.9 ����늌W(xu��)���ԵĜy(c��)�� 194
5.4 ȱ�����ܵĜy(c��)�� 196
5.4.1 ���W(xu��)���g�� 196
5.4.2 �ḯ�g�� 200
5.4.3 ɢ��⼤�������� 200
5.4.4 ͸���@΢�R���� 200
5.4.5 �Შ���y(c��)�����g(sh��) 201
5.5 ���Ͼ������ԵĜy(c��)�� 202
5.5.1 ����y(c��)�����g(sh��) 202
5.5.2 X�����似�g(sh��) 203
5.5.3 ����ʽ����������似�g(sh��) 211
5.5.4 �c�����������P(gu��n)�IJ��Ϻ��^���܅���(sh��)�Ĝy(c��)�� 213
5.6 �@΢�Y(ji��)��(g��u)�Ĝy(c��)�� 214
5.6.1 ΢�ָ�������@΢�R 214
5.6.2 ���۽��@΢�R 216
5.6.3 ����(ch��ng)��W(xu��)�@΢�R 217
5.6.4 �������@΢�R 218
5.6.5 ����@΢�R 219
5.6.6 ��(ch��ng)�x���@΢�R 223
5.7 ԭ�ӳɷֺ͝�ȵĜy(c��)�� 224
5.7.1 ����ԭ�Ӄr(ji��)����S�w���������V�y(c��)�����g(sh��) 225
5.7.2 ����ԭ�Ӄ�(n��i)��������S�w��X�侀�������V�y(c��)�����g(sh��) 227
5.7.3 ���ڱ����l(f��)��ӵ����V�y(c��)�����g(sh��) 228
5.7.4 �����|(zh��)�V�����Ĝy(c��)�����g(sh��) 229
5.8 �����W(xu��)���ԵĜy(c��)�� 237
5.8.1 �������� 237
5.8.2 ��ʾ�������ᷨ 238
5.8.3 �^�����ᷨ 239
5.8.4 ������(���巨)239
5.8.5 �����W�䷨ 239
5.8.6 ����Ûϵ��(sh��)�Ĝy(c��)�� 240
��6�� �댧(d��o)�w�����Ƃ乤ˇ�Ļ��A(ch��)���g(sh��) 243
6.1 �댧(d��o)�w��ˇ���o�����ϵ��x�� 243
6.2 �댧(d��o)�w���Ϲ�ˇ�еă����ͼ�����ˇ 246
6.2.1 ˮ�ļ��� 246
6.2.2 ���w�ļ��� 247
6.2.3 �h(hu��n)����� 250
6.2.4 ��ˇ���ò��Ϻ�ǻ�w�ĝ���̎�� 253
6.3 �댧(d��o)�w�O(sh��)�����ռ��g(sh��) 256
6.3.1 ��ձ� 257
6.3.2 ��ղ��� 259
6.3.3 ���ϵ�y(t��ng) 264
6.3.4 ��նȵĜy(c��)�� 267
6.3.5 ����չ�ˇ 268
6.3.6 ���ϵ�y(t��ng)�ęz© 269
6.4 �댧(d��o)�w��ˇ�еļӟἼ�g(sh��) 271
6.4.1 �ӟ� 271
6.4.2 �؈�(ch��ng)�Ľ����Ϳ��� 273
6.4.3 �ضȵĜy(c��)�� 275
6.4.4 �ضȵĿ��� 277
6.5 Դ���ϵ��Ƃ似�g(sh��) 279
6.5.1 �ἃ���g(sh��) 279
6.5.2 �ϳɼ��g(sh��) 283
6.6 �댧(d��o)�w���ϵļӹ���ˇ 285
6.6.1 ���w�L�A 285
6.6.2 ���V�и� 286
6.6.3 ��Ƭ�c���� 286
6.6.4 ���撁�� 287
6.6.5 ���c(di��n)����ʯ���� 290
6.6.6 ���x��ճ�Ӽ��g(sh��) 290
6.7 �����c��ˇ���P(gu��n)���o���Լ��g(sh��) 294
չ�_ȫ��

&�댧(d��o)�w���������c���g(sh��) ��(ji��)�x

��1�� ���� �����댧(d��o)�w������һ�N���Ќ�(d��o)������c���Ӯa(ch��n)���໥���ù��ܵIJ�������(j��ng)�^(gu��)������İl(f��)չ�����ڰ댧(d��o)�w���ϵ�оƬ�a(ch��n)�I(y��)�Ѱl(f��)չ�ɞ鮔(d��ng)�����(hu��)��һ��(g��)֧���a(ch��n)�I(y��)�����댧(d��o)�w���������c���g(sh��)�����ڰ댧(d��o)�w����W(xu��)�İl(f��)չ�Ͱ댧(d��o)�w���ϵđ�(y��ng)���^(gu��)�������γɺ����Ƶ�һ�T���I(y��)�W(xu��)�������c�댧(d��o)�w΢�������W(xu��)���댧(d��o)�w���������c���g(sh��)���댧(d��o)�w�����·�O(sh��)Ӌ(j��)�c����(�����w��ӌW(xu��))�Ͱ댧(d��o)�w�����ɿ��������c���g(sh��)һ���`����΢����c���w��ӌW(xu��)�����(n��i)�ݺ��w�˰댧(d��o)�w�����������ܡ��댧(d��o)�w�������L(zh��ng)����̎�������ܜy(c��)ԇ�c�u(p��ng)�r(ji��)�Լ��댧(d��o)�w���Ϲ�ˇ�Ļ��A(ch��)���g(sh��)5��(g��)��ķ������D1-1�o�����@һ���I(y��)�W(xu��)�Ƶ�֪�R(sh��)�wϵ����֧�ΌW(xu��)�ƺ������W(xu��)�Ƶķֲ���r�� �����D1-1 ���댧(d��o)�w���������c���g(sh��)���W(xu��)�Ƶ�֪�R(sh��)�wϵ����֧�ΌW(xu��)�ƺ������W(xu��)�Ƶķֲ���r ������1949��**ƬSi�ξ�������ؐ����(sh��)�(y��n)���Q������(d��ng)��;S�댧(d��o)�w���ϵij��F(xi��n)���댧(d��o)�w���ϵķNͮa(ch��n)���l(f��)���˷��츲�ص�׃�����댧(d��o)�w���ϏĢ���Ԫ�ص�Si���Ϻ�Ge���ϰl(f��)չ�������͢���廯������ϣ����w�����ϰl(f��)չ�����Ӳ��������|(zh��)�Y(ji��)����������������������{�ײ��ϺͶ��S������ֱ���������µİ댧(d��o)�w�������ڲ���ӿ�F(xi��n)���c��ͬ�r(sh��)���댧(d��o)�wоƬ�t�ķ�������������l(f��)չ������ij���Ҏ(gu��)ģ�����·��ͬ�r(sh��)߀�l(f��)չ���˰l(f��)����������������������D(zhu��n)�Q���͹��̽�y(c��)����һ����������������ɴ��γɵ�Ӌ(j��)��C(j��)��ͨ����̫�(y��ng)���������c�@ʾ�Լ����N���Ԫ�����͂������Ȯa(ch��n)�I(y��)�ѳɞ鮔(d��ng)���(gu��)��(j��ng)��(j��)��֧���a(ch��n)�I(y��)���䑪(y��ng)���ѝB͸����(sh��)�w��(j��ng)��(j��)�����ں��Ļ�������(w��)�I(y��)����“(li��n)�W(w��ng)���������(hu��)�ķ�����������ڰ댧(d��o)�w���ϵ�Ӌ(j��)��C(j��)���g(sh��)�ǵ����ι��I(y��)����(��Q��Ϣ���g(sh��)����)����Ҫ��(bi��o)־���S���Ի�“(li��n)�W(w��ng)+�����I(y��)���ܻ������\�g(sh��)������ĵ��Ĵι��I(y��)�����r(sh��)���ĵ���(l��i)�����N�®a(ch��n)Ʒ���¼��g(sh��)�İl(f��)չ��Ȼ�x���_��(du��)�댧(d��o)�w���ܲ��ϵ��������낀(g��)�����o(j��)�ԁ�(l��i)�����댧(d��o)�w���������c���g(sh��)���İl(f��)չʼ�K���@���ɗl���������ڹ��w����ǰ�،W(xu��)�Ƶ����I(l��ng)�����˂�����̽���Ͱl(f��)չ�²������������D(zhu��n)�����܉�M�㌍(sh��)�û�����İ댧(d��o)�w�������c��ͬ�r(sh��)����оƬ�a(ch��n)�I(y��)���͹��̻���(y��ng)������Ġ��������˂�ʼ�K����،�����ߴ硢�߾���������ȱ���������ܺ͵ͳɱ�������l(f��)չ�����Ƃ似�g(sh��)�ĽK�OĿ��(bi��o)�� ����1.1 �댧(d��o)�w���� �����댧(d��o)�w������һ�N���ܲ��������܌�(du��)�⡢�����������•�ȵ����îa(ch��n)���ض���푑�(y��ng)���IJ��ϽY(ji��)��(g��u)�Ͽ����������dž��|(zh��)������Ҳ�����ǻ쾧��������������������|(zh��)�Y(ji��)���ϻ򳬾�����������������w�����ϣ�Ҳ���������Ӳ�������ʹ��ͬһ�N��������Ҳ�����džξ��������ྦྷ���ϻ�Ǿ��������댧(d��o)�w���ϼȿɰ��չ��ܷ����Ҳ�ɰ���ԭ�ӽY(ji��)��(g��u)�������Si���Ϟ��������І��|(zh��)���w�����Ϻ����Ӳ�����Ҳ���c��������ԭ�ӽY(ji��)����һ���SiC��SiGe��SiGeSn�Ȼ쾧���ϡ�Si���ϼȿ����džξ�������Ҳ�����Ƕྦྷ���ϺͷǾ��������ڑ�(y��ng)������Si���ϼ�����Ӳ�����Ҳ�ǹ���Ӳ��ϣ��V����(y��ng)�������Ԫ�����������·�����̽�y(c��)����̫�(y��ng)��늳غ͟����ͼt��̽�y(c��)���Ȳ�ͬ�I(l��ng)�����D1-2�o���˰댧(d��o)�w���ϳ��õ����ɷN����������˼�x���댧(d��o)�w������һ�N��(d��o)����ܽ��ڌ�(d��o)�w�ͽ^���w֮�g�IJ�����ͨ�����Ҝ�������ʽ���10-3��109�� cm�IJ��Ϛw�ڰ댧(d��o)�w��������ˌ����ķ���Դ�ڰ댧(d��o)�w������̎�Ĺ����ضȴ��ںܴ�IJ(�ĵ���Һ���ضȵ�����500��)�����Ԍ�(sh��)�H������B(t��i)�µIJ��ό�(d��o)����ܞ������(bi��o)��(zh��n)���댧(d��o)�w��������ʵķ���Ҫխ�ܶࡣͨ�^(gu��)��(du��)���ϓ��s��ȵĿ������댧(d��o)�w�����ڹ�����B(t��i)�µ��d���ӝ�Ⱥ������߀���ܵ��M(j��n)һ�����{(di��o)���� �����D1-2 �댧(d��o)�w���ϵ����ɷN����� �������չ��w������Փ�����w�����еı����d���ӝ��ȡ�Q�ڲ��σr(ji��)���c��(d��o)��֮�g�������g϶(����������)���܎��Y(ji��)��(g��u)����ӵđB(t��i)�ܶȺ���Ч�|(zh��)������������Խ������ӏăr(ji��)��ͨ�^(gu��)�ἤ�l(f��)�S�w����(d��o)���ɞ��d���ӵĝ�Ⱦ�ԽС�����܎��Ƕȿ����댧(d��o)�w���ϵĽ������ȴ�����50meV��5eV֮�g���D1-3�鳣�ð댧(d��o)�w�����ڽ������Ⱥ;��񳣔�(sh��)����(bi��o)ϵ�еķֲ��D�����ڲ��ϵĽ��������cԭ��֮�g�໥���õď�(qi��ng)�����P(gu��n)���S�����Ͼ��񳣔�(sh��)���������������ȿ��w�ϳʬF(xi��n)���½���څ��(sh��)�� �����D1-3 �Ҝ��³��ð댧(d��o)�w���Ͻ������Ⱥ;��񳣔�(sh��)�ķֲ��D �����ĈD1-3Ҳ���Կ������댧(d��o)�w������Ҫ�����ˢ���ԭ��(Si��Ge��C��Sn)��(g��u)�ɵĆ��|(zh��)���w��쾧����������ԭ��(Ga��In��Al��)�c����ԭ��(As��P��Sb��N��)�Y(ji��)�϶��ɵĶ�Ԫ���Ԫ����廯��������Լ��ɢ���ԭ��(Zn��Cd��Hg��Mg��Be��)�c����ԭ��(Te��Se��S��O��)��(g��u)�ɵĶ�Ԫ���Ԫ����廯���������Si������һ�N�ڳ����³ʬF(xi��n)�댧(d��o)�w���ܵIJ���[1]�������c(di��n)���YԴ�O���S���ғ��������SiO2�����g����������Ŀǰ��(y��ng)��*��V���İ댧(d��o)�w����������廯������τt�������ֱ�ӎ�϶�����кܸߵĹ���D(zhu��n)�QЧ�����M(j��n)���ɞ��Ƃ�����������*�Ѳ���[2]������廯������ϵ����c(di��n)�ǽ������ȵĸ��w�����܌�[3]�����ù��Ӳ��L(zh��ng)��(l��i)������Ԓ�������ԏļt���һֱ���w���{(l��n)�����ڹ�����I(l��ng)�������܌�(du��)������댧(d��o)�w�����γ��˺ܺõ��a(b��)�����������S�������(l��i)���������İl(f��)չ��������Ga2O3���������Ҳ�_ʼ�ɞ�һ�N��Ҫ�İ댧(d��o)�w����[4]�����������@��댧(d��o)�w��������߀����һЩС�����İ댧(d��o)�w������������������Ԫ�ؽM�ɵ�PbTe��PbSe��PbSnTe�Ȳ���[5]�͓�Mn��Fe�Ĵ��԰댧(d��o)�w���ϵ�[6]�� �������ˏIJ��ϵĽM���Ͽ���������һϵ�а댧(d��o)�w����֮����ͨ�^(gu��)��(du��)�������ܺͽY(ji��)��(g��u)���{(di��o)��(��Q�܎����̼��g(sh��))Ҳ�ܫ@���S�����͵İ댧(d��o)�w����[79]�����õ��{(di��o)���ֶΰ������|(zh��)�Y(ji��)�������������������ē��s���{�׽Y(ji��)��(g��u)�Ͷ��S���ϵ��������ò������ܺͽY(ji��)��(g��u)�ڌ�(sh��)���g�ϵ�׃������ϵ�߅��Ч��(y��ng)��(l��i)��׃���ϵ��܎��Y(ji��)��(g��u)�������������ɴ��Q�������²��ϰ���GeSi/Si��AlGaAs/GaAs��InGaAs/GaAs��InAsSb/InAs��GaSb/InAs��GaInAs/InP��InGaN/GaN��ZnO/ZnMgO��PbSnTe/PbTe�Ȯ��|(zh��)�Y(ji��)��������ͳ�������ϣ��Լ�ͨ�^(gu��)�pС���ϳߴ�@�õļ{�׾��������c(di��n)�����������꣬��ʯīϩ����?f��)�^���w������Ķ��S���ϵij��F(xi��n)�֞���չ���Ͱ댧(d��o)�w�����ṩ���µİl(f��)չ������ �������������|(zh��)�Ͽ�����ͨ�ı�Ĥ����(�Ό����Ӳ���)�c�w�������܎��Y(ji��)��(g��u)�ϲ������څ^(q��)�e�����ǏIJ��ϵđ�(y��ng)�ýǶȿ��������Еr(sh��)Ҳ��(hu��)�����@���IJ��������Si������Ƭ���Ƃ��p�O�������ă�(y��u)�x��������Si���ϼӹ��Ɂ�΢�׺��SOI(silicon on insulator)���Ϻ�������©����ɴ���ȜpС[10]���������ӷ��������ڮ��|(zh��)�r�������L(zh��ng)���Ӳ�����Ҳ���ԫ@�ýM�־������h(yu��n)��(y��u)���w�����ϵĶ�Ԫ��������ϣ��M(j��n)���o���ϵ����܎���(l��i)�|(zh��)��׃���� ����1.2 �댧(d��o)�w���������c���g(sh��) �����댧(d��o)�w�������������댧(d��o)�w���ϵ��������A(ch��)�����ϵ��������ܺ͹�ˇ���g(sh��)������ԭ�����댧(d��o)�w���ϼ��g(sh��)�t�������ϵ����L(zh��ng)���g(sh��)����̎�����g(sh��)���������ܜy(c��)�����g(sh��)�͹�ˇ���A(ch��)���g(sh��)���댧(d��o)�w���όW(xu��)�����ɰ댧(d��o)�w���������c��ˇ���g(sh��)����(g��u)�ɵČW(xu��)���������ǻ��A(ch��)�����g(sh��)���ֶ����](m��i)�кõ��������A(ch��)�͛](m��i)�кõļ��g(sh��)���](m��i)�кõļ��g(sh��)�͟o(w��)���@�úõİ댧(d��o)�w������ ����1.2.1 �댧(d��o)�w���ϵ��������A(ch��) �����v�^�댧(d��o)�w���ϵİl(f��)չ�vʷ���댧(d��o)�w���ϵ����������о��͑�(y��ng)�ü��g(sh��)�о����x���_���A(ch��)��Փ��֧�����댧(d��o)�w���ϵďĘI(y��)�ˆT���о��ˆT�����Ǻ��^�����е����飬��ąs�Dz��σ�(n��i)΢�^�����е�����D������Խ�ɂ�(g��)����Ę��������c�댧(d��o)�w�������P(gu��n)�Ļ��A(ch��)��Փ�ͻ�����Փ����������(l��i)�Ĝy(c��)�����g(sh��)�����w�����Ͱ댧(d��o)�w�����ǰ댧(d��o)�w���������Ļ��A(ch��)��Փ[1112]����ͨ������늄�(d��ng)���W(xu��)���������W(xu��)�͟����W(xu��)�y(t��ng)Ӌ(j��)����t���@Щ���I(y��)���A(ch��)��Փ����Փ���A(ch��)���댧(d��o)�w���ό��I(y��)���о��ˆT߀������һЩ���錣�I(y��)�Ļ��A(ch��)��Փ���������܎���Փ���d����ݔ�\(y��n)��Փ���댧(d��o)�w��W(xu��)���|(zh��)���������������D��Փ�Ͳ���ȱ�ݻ��W(xu��)��Փ���� �����IJ���ʹ�õĽǶȁ�(l��i)�����Ñ�*�P(gu��n)�ĵ��Dz��ϵĹ�����ܣ��������е���Ӡ�B(t��i)(��Y(ji��)��(g��u))���������(ch��ng)(늴ň�(ch��ng)�͹���)�����µ�׃��Ҏ(gu��)����������ڌ�(sh��)���g�������̈́�(d��ng)���ϵķֲ����Լ��ڌ�(sh��)���g�ϰl(f��)���w�ƺ��ڄ�(d��ng)�����g�ϰl(f��)���ܼ�(j��)�S�w���О�������������������ӽY(ji��)��(g��u)������D������ӵ��܎��Y(ji��)��(g��u)����Դ�ڰ댧(d��o)�w���ϵ��܎���Փ[13]�����܎���Փ�Ļ��A(ch��)�t���������W(xu��)�����^(gu��)��(l��i)�������������������W(xu��)���܎���Փ���������҂���(du��)�댧(d��o)�w���Ϲ�����ܵı����������܎���Փ���������W(xu��)��늄�(d��ng)���W(xu��)����ՓҲ���҂��M(j��n)һ��������ӵ��w�ƺ��S�w�춨����Փ���A(ch��)�����ɴ������˲��ϵČ�(d��o)����Ժ�����c�����໥���õ������� �����IJ����Ƃ�ĽǶȁ�(l��i)�������в��ϵ��Ƃ乤ˇ���Dz����������ܟ����W(xu��)Ҏ(gu��)�ɿ��Ƶėl���°l(f��)����׃��һ�N�^(gu��)�����@Щ������Ҫ�������ϵijɷ���ԭ�����еĽY(ji��)��(g��u)(���w�Y(ji��)��(g��u))��ȱ����늌W(xu��)���ܺ͹�W(xu��)���ܵ����ߜ��µIJ�������ͬ�r(sh��)Ҳ�Q������Ӱ������ϵ�ʹ�����ܡ��댧(d��o)�w�Ƃ似�g(sh��)���漰������ԭ������ՓҲ�܏V��������ϵľ��w���L(zh��ng)��Փ�����D��Փ��ȱ�ݻ��W(xu��)ƽ����Փ��ԭ�ӔU(ku��)ɢ��Փ�����Ϝy(c��)ԇ���g(sh��)ԭ������ռ��g(sh��)ԭ��������W(xu��)��Փ�����w���W(xu��)��Փ�ȣ���(du��)���P(gu��n)��Փ�M(j��n)��ϵ�y(t��ng)���ČW(xu��)��(x��)�������ڌ�(du��)�����Ƃ似�g(sh��)�������������ڌ�(du��)�y(c��)ԇ�Y(ji��)���ķ�����Ҳ�����ڲ����Ƃ似�g(sh��)�ĸ��M(j��n)���¼��g(sh��)���аl(f��)�� �����ڹ�ˇ���g(sh��)�����댧(d��o)�w�����Ƃ乤ˇ���H�����������еľ��w�������L(zh��ng)���g(sh��)���댧(d��o)�w���ϟ�̎�����g(sh��)�Ͳ������ܜy(c��)�����g(sh��)��߀������֧�β����Ƃ乤ˇ�ĺܶ���A(ch��)�Լ��g(sh��)���@Щ���g(sh��)�������ϵļӹ�����ϴ�͸��g�������Ƃ�ϵ�y(t��ng)�ļӟ����ؿ����ܷ���������������\(y��n)��(d��ng)�͹�ˇ�^(gu��)�̵��Ԅ�(d��ng)���������Լ�������ϴʹ�õĸ߼�ˮ���Ƃ乤ˇ��ʹ�õĸ߼����w�͹�ˇ�h(hu��n)����Ҫ�ĝ����՚�ȹ�ˇ�|(zh��)�����ϼ��g(sh��)���ԟ����W(xu��)�͟����W(xu��)�y(t��ng)Ӌ(j��)�������A(ch��)�IJ������D��Փ[14]��ȱ�ݻ��W(xu��)ƽ����Փ[15]��ԭ�ӔU(ku��)ɢ��Փ[16]����ռ��g(sh��)��Փ[17]�ͻ��A(ch��)���W(xu��)����֧�β����Ƃ似�g(sh��)�l(f��)չ�Ļ��A(ch��)��Փ������ͨ��������ͨ���W(xu��)����ӌW(xu��)��Փ���C(j��)еԭ����Ӌ(j��)��C(j��)���g(sh��)Ҳ؞��������(g��)�����Ƃ乤ˇ�Ļ��A(ch��)�Լ��g(sh��)֮���� ������Փ��˼����(w��n)�}���J(r��n)�R(sh��)��(w��n)�}�Ļ��A(ch��)��Ҳ�Ƿ�����(w��n)�}�Ĺ��ߡ��S��Ӌ(j��)��C(j��)���g(sh��)�Ŀ��ٰl(f��)չ�������(l��i)Ӌ(j��)��C(j��)���漼�g(sh��)�@���˿��ٰl(f��)չ����(du��)��Փ���湤�ߵ�ʹ��Խ��(l��i)Խ�ռ����ھ��w���L(zh��ng)�����������r(sh��)��FEMAG Soft���‡�(gu��)��Crys VUn�Ͷ��_˹STR��˾��CGSim���ѳɞ��̘I(y��)���ľ��w���L(zh��ng)ģ�Mܛ�������D���������ܛ����CALPHAD(calculation of phase diagram)��Thermo Calc��Lukas Program��Synopsys��˾��Sentaurus TCAD(technology compute aided design)��LumericalDEVICE��Comsol��ܛ�������ڌ�(du��)�����c�����Ĺ�W(xu��)��늌W(xu��)��늴ŌW(xu��)���Ե�ģ�MӋ(j��)������Փ���ߵđ�(y��ng)���܎����҂���߹���Ч�ʣ����͹�ˇ���g(sh��)�аl(f��)�ijɱ��� �����댧(d��o)�w���ϼ��g(sh��)�İl(f��)չ��ʼ���K���x���_��Փ������(d��o)��֧�����댧(d��o)�w���������ڵİl(f��)չ��Ҫ���ڌ�(du��)Ԫ�غͻ����(d��o)����|(zh��)���J(r��n)�R(sh��)���������������W(xu��)�����w�������܎���Փ���о��ɹ�����Si��GaAs��HgCdTe������İ댧(d��o)�w������20���o(j��)���~�@���˿��ٰl(f��)չ������20���o(j��)ĩ���S���܎�������Փ�ij��F(xi��n)���Ԯ��|(zh��)�Y(ji��)������������������Ϻͼ{�ײ��Ϟ�����ĽY(ji��)��(g��u)�Ͱ댧(d��o)�w���ϫ@���˿��ٰl(f��)չ������2000��ǰ����������όW(xu��)��Ӌ(j��)��C(j��)����ƌW(xu��)��Ӌ(j��)����όW(xu��)�_ʼ�ɞ�����о��c�l(f��)չ��һ�T�ŒW(xu��)�ƣ���ͨ�^(gu��)�O(sh��)�������������ܺ�����Ҫ��(��ɱ����h(hu��n)���ͷ�(w��n)���Ե�)�������ڲ��ϟ����W(xu��)�����ӻ�ȱ�݄�(d��ng)���W(xu��)��**��ԭ������Փ���\(y��n)���Զ�Ŀ��(bi��o)��(y��u)���錧(d��o)��ľ��w�Y(ji��)��(g��u)�A(y��)�y(c��)�����͸�ͨ������Ӌ(j��)�㼼�g(sh��)����(du��)���ϽM�ɡ��Y(ji��)��(g��u)�����ܺ͹����Ĵ�Ҫ���M(j��n)��Ӌ(j��)��C(j��)�������Ԍ����²��ϻ�(y��u)�����в����� ����1.2.2 �댧(d��o)�w���ϵ��������� �����o(w��)ȱ�ݵķǓ��s�댧(d��o)�w���ϱ��Q�鱾�����ϣ��������ϵ�ԭ�ӽM�ɺͿ��g���нY(ji��)��(g��u)�o(w��)���Dz���*�������������������Q���IJ�������Ҳ���Q����ϵı������������ڲ����Ƃ乤ˇ��ԭ�򣬌�(sh��)�Hʹ�õİ댧(d��o)�w�����ڽY(ji��)��(g��u)�Ͽ��ǻ����ٴ�����һЩȱ�����@Щȱ�ݵĴ��ڕ�(hu��)Ӱ푵����ϵ��܎��Y(ji��)��(g��u)

��Ʒ�u(p��ng)Փ(0�l)
���o(w��)�u(p��ng)Փ����
�������]
����픲�
�ЈD�W(w��ng)
�ھ��ͷ�