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前沿電子信息專(zhuān)業(yè)教材系列集成電路制造技術(shù)

前沿電子信息專(zhuān)業(yè)教材系列集成電路制造技術(shù)

出版社:上海交通大學(xué)出版社出版時(shí)間:2018-10-01
開(kāi)本: 其他 頁(yè)數(shù): 439
中 圖 價(jià):¥50.2(5.7折) 定價(jià)  ¥88.0 登錄后可看到會(huì)員價(jià)
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前沿電子信息專(zhuān)業(yè)教材系列集成電路制造技術(shù) 版權(quán)信息

前沿電子信息專(zhuān)業(yè)教材系列集成電路制造技術(shù) 內(nèi)容簡(jiǎn)介

計(jì)算機(jī)通信專(zhuān)業(yè)主要面向網(wǎng)絡(luò)通信運(yùn)營(yíng)和服務(wù)公司,培養(yǎng)掌握計(jì)算機(jī)、網(wǎng)絡(luò)和通信技術(shù)專(zhuān)業(yè)推薦的基本知識(shí)和技能,至少熟練掌握一門(mén)編程語(yǔ)言,精通網(wǎng)絡(luò)管理和網(wǎng)頁(yè)設(shè)計(jì)技術(shù),熟悉通信增值業(yè)務(wù),能夠?qū)F(xiàn)代計(jì)算機(jī)通信技術(shù)應(yīng)用于辦公和商務(wù)領(lǐng)域,從事網(wǎng)絡(luò)通信系統(tǒng)的管理、IP電話(huà)系統(tǒng)維護(hù)、WAP技術(shù)與移動(dòng)WEB開(kāi)發(fā)等工作的主要面向網(wǎng)絡(luò)通信運(yùn)營(yíng)和服務(wù)公司。

前沿電子信息專(zhuān)業(yè)教材系列集成電路制造技術(shù) 目錄

第1篇 集成電路及其設(shè)計(jì)與制造
第1章 微電子改變了人們的生活
1.1 集成電路的簡(jiǎn)要?dú)v史
1.2 集成電路改變?nèi)藗兩?br>1.3 集成電路對(duì)生活的改變——未來(lái)展望
第2章 集成電路近30年的發(fā)展
2.1 半導(dǎo)體與集成電路的產(chǎn)生及早期的發(fā)展
2.2 摩爾定律
2.3 集成電路發(fā)展史的幾個(gè)重要節(jié)點(diǎn)
2.4 集成電路產(chǎn)業(yè),集成電路職場(chǎng)
第3章 集成電路的設(shè)計(jì)與制造技術(shù)及其基本原理
3.1 集成電路的設(shè)計(jì)與制造之間的關(guān)系及橋梁
3.2 集成電路的設(shè)計(jì)、仿真、檢驗(yàn)
3.3 半導(dǎo)體器件基本原理
3.4 集成電路基本原理

第2篇 集成電路的基本工藝方法
第4章 圖形化:光刻工藝
4.1 光學(xué)系統(tǒng)
4.2 掩膜版技術(shù)
4.3 光刻膠
4.4 光刻技術(shù)
4.5 光刻缺陷
4.6 深紫外光刻工藝技術(shù)
第5章 集成電路工藝的“加法”:薄膜生長(zhǎng)與淀積
5.1 薄膜生長(zhǎng)技術(shù)
5.2 薄膜淀積技術(shù)
5.3 薄膜的表征
5.4 集成電路常用薄膜
第6章 集成電路工藝的“減法”:薄膜的刻蝕
6.1 薄膜刻蝕概述
6.2 濕法刻蝕
6.3 干法刻蝕
6.4 剝離技術(shù)(Lift-off)
6.5 CMP技術(shù)
第7章 改性與摻雜工藝
7.1 擴(kuò)散工藝技術(shù)
7.2 離子注入技術(shù)
7.3 退火與熱處理工藝

第3篇 集成電路工程學(xué)及其后勤工程
第8章 集成電路工程學(xué)
8.1 集成電路質(zhì)量控制的工程學(xué)方法:6笤恚珻pk,統(tǒng)計(jì)質(zhì)量控制(SQC)
8.2 實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方法(DOE)
8.3 晶片的良率
8.4 可靠性
8.5 生產(chǎn)集成與自動(dòng)化,計(jì)算機(jī)集成制造
8.6 設(shè)備通信及裝置自動(dòng)化
8.7 半導(dǎo)體計(jì)算機(jī)集成公司(Fabless)與半導(dǎo)體制造廠(chǎng)商(Foundry)合作狀況,集成電路顧問(wèn)公司(IC Consulting)的支援
第9章 集成電路的后勤工程
9.1 晶體、晶圓、SOI及異質(zhì)襯底
9.2 集成電路制造中的材料及化學(xué)品
9.3 硅片清洗工藝,化學(xué)清洗與物理清洗、金屬的去除與有機(jī)污染
9.4 清洗技術(shù)
9.5 微分析技術(shù),常用微分析儀器,故障分析FA
9.6 超凈間
9.7 集成電路供應(yīng)鏈,集成電路產(chǎn)業(yè)鏈
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