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微納加工基礎(chǔ)技術(shù)與方法

微納加工基礎(chǔ)技術(shù)與方法

出版社：冶金工業(yè)出版社出版時(shí)間：2021-09-01
開本： 其他 頁數(shù)： 184
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微納加工基礎(chǔ)技術(shù)與方法 版權(quán)信息

微納加工基礎(chǔ)技術(shù)與方法 內(nèi)容簡介

內(nèi)容提要本書系統(tǒng)介紹了各種精密加工方法，將超精密微加工法和表面加工方法的基礎(chǔ)原理和技術(shù)做了融合。全書共分為十一章，主要介紹了激光束加工方法、電子束加工方法、離子束加工方法、其他粒子束加工方法、化學(xué)刻蝕法、放電加工等基本方法；并介紹了精密加工所涉及的主要表面處理技術(shù)，包括表面處理沉淀法、離子束表面處理法、濺射法、化學(xué)氣相沉積法和精密鍍等。本書對(duì)傳統(tǒng)的加工方法進(jìn)行了精選，去掉了繁冗的細(xì)節(jié)，保留了必要的理論基礎(chǔ)，并增加了微納加工技術(shù)新工藝及其發(fā)展趨勢。本書可作為機(jī)械制造及其自動(dòng)化專業(yè)的研究生和本科生教材，同時(shí)也可

微納加工基礎(chǔ)技術(shù)與方法 目錄

1 緒論
1．1 微加工技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程
1．2 發(fā)展現(xiàn)狀
1．3 技術(shù)內(nèi)涵
1．3．1 加工范疇
1．3．2 加工方法
1．4 微納加工技術(shù)
1．4．1 微納加工技術(shù)現(xiàn)狀
1．4．2 微納加工技術(shù)簡介

2 激光束加工方法
2．1 激光束加工常用光源
2．2 加工用激光器的種類和光束聚光
2．2．1 振蕩器
2．2．2 YAG激光器
2．2．3 CO2激光器
2．2．4 光學(xué)諧振腔、橫模、聚旋光性
2．2．5 高斯形分布激光束的聚光傳播特性
2．2．6 熱加工
2．2．7 冷加工
2．3 YAG激光加工
2．3．1 YAG激光器
2．3．2 激光打孔的特點(diǎn)
2．3．3 鉆孔用激光束
2．3．4 鉆孔現(xiàn)象
2．3．5 聚光光學(xué)與加工條件
2．3．6 薄膜加工
2．4 準(zhǔn)分子激光加工
2．4．1 準(zhǔn)分子激光
2．4．2 高分子材料加工
2．4．3 表面改性
2．4．4 表面改性提高
2．4．5 納米表面改性
2．4．6 準(zhǔn)分子激光加工設(shè)備
2．5 激光應(yīng)用加工
2．5．1 激光輔助加工
2．5．2 激光輔助刻蝕
2．5．3 激光焊接
2．5．4 激光輔助切削銑削加工
2．5．5 超聲波激光清洗振動(dòng)
2．5．6 激光光刻
2．5．7 激光修復(fù)
2．5．8 激光圖案去除加工
2．5．9 作為修復(fù)的激光振蕩器
2．5．10 激光附加加工方法

3 電子束加工
3．1 電子束加工原理
3．1．1 產(chǎn)生熱量
3．1．2 電子束加工類型
3．1．3 電子束加工的特點(diǎn)
3．2 鉆孔
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