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微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)及應(yīng)用探究

微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)及應(yīng)用探究

作者：吳倩楠著
出版社：吉林科學(xué)技術(shù)出版社出版時(shí)間：2021-05-01
開(kāi)本： 24cm 頁(yè)數(shù)： 177頁(yè)
中 圖 價(jià):¥49.0(5.7折) 定價(jià)  ¥86.0 登錄后可看到會(huì)員價(jià)
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微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)及應(yīng)用探究 版權(quán)信息

微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)及應(yīng)用探究 內(nèi)容簡(jiǎn)介

本書共5章, 內(nèi)容包括: 微機(jī)電系統(tǒng)概述、微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法學(xué)、微細(xì)加工技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)檢測(cè)技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用。

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