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超硬材料薄膜的制備、性能與應(yīng)用

超硬材料薄膜的制備、性能與應(yīng)用

作者：王光祖
出版社：鄭州大學(xué)出版社出版時(shí)間：暫無(wú)
開(kāi)本： 16開(kāi) 頁(yè)數(shù)： 216
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超硬材料薄膜的制備、性能與應(yīng)用 版權(quán)信息

超硬材料薄膜的制備、性能與應(yīng)用 內(nèi)容簡(jiǎn)介

本書(shū)由概論、性能及其影響因素、制備技術(shù)的多樣性、工程與功能應(yīng)用、納米金剛石薄膜、類(lèi)金剛石涂層、金剛石薄膜的特性表征與測(cè)試技術(shù)、理論模型與機(jī)制研究、立方氮化硼薄膜和結(jié)語(yǔ)與展望十個(gè)部分組成。

超硬材料薄膜的制備、性能與應(yīng)用 目錄

1概論 1.1國(guó)外發(fā)展概述 1.2國(guó)內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r 1.3 CVD 金剛石生產(chǎn)企業(yè) 2CVD 薄膜能及其影響因素， 2.1金剛石薄膜的能 2.2影響金剛石薄膜的因素 3CVD 薄膜制備技術(shù)的多樣 3.1化學(xué)氣相沉積法? 3.2物理氣相沉積法 3.3化學(xué)氣相輸運(yùn)法. 3.4火焰燃燒法， 4CVD 金剛石薄膜的工程應(yīng)用能應(yīng)用4.1工程應(yīng)用 4.能應(yīng)用 4.3未來(lái)發(fā)展... 5納米金剛石薄膜 5.1納米金剛石薄膜的制備5.2納米金剛石薄膜質(zhì)量表征5.3納米金剛石薄膜的能及應(yīng)用6 類(lèi)金剛石涂層 6.1類(lèi)金剛石涂層的相結(jié)構(gòu)6.2DLC膜的能與表征 6.3 DLC膜的制造方法和相關(guān)工藝6.4DLC薄膜制備技術(shù)及其產(chǎn)物特6.5類(lèi)金剛石涂層的生長(zhǎng)機(jī)制 6.6質(zhì)量檢測(cè)和結(jié)構(gòu)檢測(cè) 6.7DLC 膜的應(yīng)用領(lǐng)域 7金剛石薄膜的特表征與測(cè)試技術(shù) 7.1金剛石薄膜的形貌分析 7.23D-MCM 散熱能分析 7.3CVD 金剛石薄膜散熱分析 7.4拉曼散射與熒光光譜分析 7.5反應(yīng)氣體與顯微力學(xué)特 7.6薄膜基界面強(qiáng)度的測(cè)量 7.7 CVD金剛石薄膜的力學(xué)測(cè)量 7.8磨耗比的測(cè)定. 7.9等離子體刻蝕技術(shù) 7.10金剛石薄膜的沖蝕磨損 8理論模型與機(jī)制研究 8.1非平衡熱力學(xué)耦合模型 8.2低壓激活金剛石薄膜生長(zhǎng)中的反應(yīng)勢(shì)壘8.3低壓激活氣相生長(zhǎng)金剛石薄膜的驅(qū)動(dòng)力8.4超平衡氫原子的特殊作用 9立方氨化硼薄膜 9.1立方氮化硼薄膜的研展與應(yīng)用 9.2CVD法制備氮化硼薄膜 10結(jié)語(yǔ)與展望 參考文獻(xiàn)
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